浅谈干式螺杆真空泵同步齿轮及轴承

干式螺杆真空泵属于非接触型干式泵，是二十世纪九十年代初期呈现的一种理想的泵种，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以普遍应用。

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本曾经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备；干式螺杆真空泵同无油螺杆紧缩机在密封和润滑上结构类似，普通真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件；传动轴衔接主动转子，经过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部经过密封件来密封以抵达无油的效果。

干式螺杆真空泵的两个转子由一对高精度齿轮操作，用于相对同步运转，驱动轴经过联轴器衔接到电机，在传输构造规划中一个是电机和齿轮在同一侧的转子上，从动转子由电机端齿轮直接驱动，使主动转子轴的改变变形小，由于主轴反向变形，两个转子之间的间隙不会发作变化，从而使转子之间的间隙操作平均。

干式螺杆真空泵在较宽的压力范围内具有较大的泵送速度；紧缩比拟低，氢提取效果差；转子具有良好的几何对称性，因而振动小，运转平稳；转子与转子和壳体之间有间隙，无光滑，摩擦损失小，能大大降低驱动功率，可完成高速运转；干式螺杆真空泵泵室无紧缩，无排气阀。构造简单，构造紧凑，对抽气中的灰尘和水蒸汽不敏感；泵室无油封和光滑，可减少真空系统上的油蒸气污染；转子外表为圆形曲线更复杂的外形，加工和检查愈加艰难。