干式螺杆真空泵的优势补偿了油封式真空泵的缺乏

随着我国工业界的开展，在半导体工业、液晶显现器等工艺制造中，对清洁真空环境的请求越来越高，而传统的有油真空泵曾经达不到这样的请求了。

干式螺杆真空泵应用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，其特性是两螺杆经精密动均衡校正，由轴承支撑，装置在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，所以使得干式螺杆真空泵工作时，互相之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需光滑油，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场所，极限真空更高，螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、构造简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的注重，在干式真空泵市场中占有重要的位置。

干式螺杆真空泵的优势补偿了油封式真空泵的缺乏，我们都称之为油封式真空泵的晋级版，干式螺杆真空泵的优势：不耗油，无滴漏；工作腔及螺杆转子外表有防腐涂层，被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便利；可顺应恶劣工况；构造简单，维护便当；气体在泵内无紧缩，适合抽取可凝性气体；

干式螺杆真空泵的缺陷，不适于抽除含氧过高的气体，抽除含有爆炸性的气体，由于螺杆泵加工难度大，我国运用的螺杆泵主要依托进口，价钱十分昂贵。