罗茨真空泵机组的极限压力的要求

有必要考虑前级泵的选择，并且对极限真空度的要求很高（高达1X10-3Pa~1X10-2Pa压力）。通常，两级旋转叶片式油封机械泵或两级滑阀机械泵用作前级泵。 。极端真空需要一个单级油封机械泵作为（1X10-2 Pa和1X10-1Pa）之间的前级泵。极限真空需要在133和1333Pa之间。可以使用往复式真空泵或液环真空泵。前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵机组的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1 / 2-1 / 4，不能太大，否则将超过压缩比。很大，导致罗茨真空泵机组的排气温度很高，无法正常工作。

如果含有腐蚀性气体，则不能使用油封机械泵。油封机械泵不适合泵出含有大量可冷凝蒸汽的气体。否则，密封液将快速乳化，并且将除去含有可追踪可冷凝蒸汽的气体。同时，还必须使用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了在低入口压力（1~100pa）下获得高泵送速率，罗茨真空泵机组可用作另一台罗茨真空泵机组的前泵的三级或四级单元。这时，罗茨真空泵机组两者之间的抽速一般在2到5之间。