罗茨真空机组漏率

在这方面真正代表罗茨真空机组的特性是泄漏率。只要泄漏率符合要求，罗茨泵的基本压力就能保证满足要求。由于它独立于前级泵并且基本上不受温度影响，因此应将泄漏率评估为罗茨真空机组的主要性能指标。当我们这次修改罗茨真空机组标准时，我们已将泄漏率作为罗茨泵的主要性能指标。至于基本压力，由于它不是泵本身的特性性能指标，因此不应作为质量检验的主要性能进行评价。

早在1998年，我们就提出以泄漏率取代极限压力作为罗茨真空机组的主要性能指标，但尚未被接受和重视。当我们的罗茨泵的极限压力（基本压力）不符合标准要求时，通常通过检测泵的泄漏率和泄漏来解决。泄漏率符合要求，极限压力（基础压力）也符合要求。特别是近年来，我们收到了许多用户，特别是那些不允许泄漏工作气体的用户，要求检测罗茨真空机组的泄漏率并提供泄漏率数据。泄漏率也已出现。许多用户关注和重视。

泄漏率定义为在特定条件下通过泄漏孔的特定气体的流速，单位为Pa·m3 / s。在我们修订的罗茨真空机组标准中，基本参数中泄漏率的指标与PFEIFFER的指标完全相同。该标准还规定了泄漏率的测量方法。